【精密洗净衍生增值服务】公司氧化加工服务覆盖了显示面板G4.5/G5.5/G6/G8.5/G10.5代次的干刻设备以及半导体部分干刻设备,涉及设备的腔体挡板、上部电极、下部电极等约1,200款零部件。公司陶瓷熔射服务产品包括:半导体刻蚀腔体内衬、钟罩、静电吸盘、气体分配盘等关键零部件,TFT刻蚀腔体中的陶瓷板、内壁板、上部电极、下部电极等重要零部件,在PVD、CVD的腔体中,也有少量的应用。公司所提供的半导体设备维修服务,主要包括HS翻新服务(主要是为CMP设备研磨头进行清洗、配件更换维修再生服务)和ALN加热器陶瓷部件高精密修复业务。
更新时间:2026-07-28 09:54:51