【前驱体材料业务】前驱体材料是半导体制造的核心材料之一,主要应用于晶圆制造的薄膜沉积工艺。通过承担包括02专项“ALD金属有机前驱体产品的开发和安全离子注入产品开发”在内的多个国家科技攻关项目,公司掌握了多种ALD/CVD前驱体材料的合成、纯化、分析检测和封装技术,建成了高纯半导体前驱体的自主生产线和适应半导体品质要求的管理体系。在国家科技攻关项目的基础上,公司通过自主研发、引进技术再创新、产学研合作,进一步向前驱体材料产业链价值高端攀升。目前已经实现晶圆制造所需的硅前驱体/金属前驱体、高K前驱体/低K前驱体等主要品类的全覆盖,成功导入国内领先的芯片制造企业量产制程,成为国内主要的核心前驱体材料供应商之一。
更新时间:2026-07-21 09:23:16