事件概述

    　　公司发布2026 年半年度报告。

    　　射频电源稳步放量，先进制程新品&新客户逐步导入2026H1 公司实现营收2.8 亿元，同比-8.5%；其中Q2 为1.5 亿元，同比-5.3%，主要系公司部分客户根据自身经营及生产节奏动态调整对公司的采购进度。分业务：1）自研产品：以射频电源系统为主，26H1 收入2.4 亿元，同比-5.9%，部分5nm 产品小批量试产，新客户屹唐、菲沃泰等逐步放量；2）引进产品：以真空泵、质量流量计等零部件为主，收入0.3 亿元，同比-29.6%，系海外采购周期延长；3）技术服务：

    　　收入428 万元，同比+167%，系国内晶圆厂被美国商务部列入实体清单后公司承接大量需求。26H1 公司在研产品不断扩大，积极推进重点客户新品突破；当前产能利用率达102%，随着IPO 募投达产，看好后续收入端增长提速。

    　　毛利率出色且稳步提升，扩产、研发等费用影响利润表现2026H1 公司实现归母净利润/扣非归母净利润分别为0.52/0.50 亿元，同比-24.5%/-22.3%；其中Q2 为0.35/0.33 亿元，同比分别+1.3%/+4.1%，单季度有所改善，符合市场预期。2026H1 公司净利率/扣非净利率为18.8%/18.1%，同比分别-4.0pct/-3.2pct，盈利水平承压。具体来看：1）毛利端：26H1 公司毛利率为49.9%，同比+0.9pct，其中射频电源系统毛利率54.4%，同比基本持平，保持出色毛利率水平；2）费用端：26H1 公司期间费用率为28.5%，同比+4.6pct，其中销售/管理/研发/财务分别同比+0.7/+1.8/+2.2/-0.02pct，主要系公司扩充高端销售人才、大力投入研发等。

    　　先进制程新品等巩固龙头地位，真空类平台打开空间1）射频电源是刻蚀、薄膜等核心零部件，少数在先进制程&3D 堆叠趋势下具有通胀属性的零部件，根据弗若斯特沙利文数据，2026 年国内半导体射频电源市场规模约80 亿元，主要由海外厂商MKS、AE、霍廷格和AIHEN 等垄断，国产替代空间广阔；2）全球零部件供应链紧张，国产替代加速，公司5nm 及以下产品小批量试产，头部设备商招标竞争力出色；3）公司战略围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案，目前引进产品主要为真空泵、质量流体计等，完善电气类零部件平台化布局。

    　　投资建议

    　　我们维持公司2026-2028 年营收预测为7.20、9.75、12.30 亿元，分别同比+36%、+35%、+26%；归母净利润为1.54、2.13、2.87 亿元，分别同比+35%、+38%、+35%；对应EPS 为2.28、3.15 和4.24 元，2026/9/1 股价262.69 元对应PE 分别为115、83 和62 倍。考虑公司所处赛道稀缺，维持“增持”评级。

    　　风险提示

    　　下游扩产不及预期、新品不及预期等。