来源 :爱集微2026-07-28
7月27日，上海精测半导体技术有限公司（简称：上海精测）迎来里程碑式高光时刻，公司第100台电子束量检测设备出货。
长期以来，高端电子束量检测设备作为半导体前道制造的核心关键装备，核心技术、市场份额长期被海外巨头垄断，是制约国内芯片制造自主可控的关键“卡脖子”短板。 精测电子团队聚焦高解析度电子光学系统设计制造、智能量检测和分类算法、高速高精密系统控制等一系列核心难题，历经数年技术攻关、反复打磨迭代，成功突破海外技术壁垒，实现设备核心部件100%自研自产，填补了国内高端电子束量检测领域多项技术空白。 目前，公司产品已全面覆盖电子束晶圆缺陷检测和复查、关键尺寸量测、聚焦离子束分析、智能缺陷分类等芯片前道制造核心应用场景，完美适配逻辑、存储、功率半导体等多品类芯片制程需求，批量入驻国内各大主流晶圆厂，深度落地产业一线。 精测电子此前表示，公司半导体业务客户已涵盖中芯国际、华虹集团、合肥长鑫、晶合集成等国内大部分主流晶圆厂。公司与多家头部晶圆厂商建立深度长期合作，主力产品已实现批量落地并获得重复性订单。（校对/李梅）