来源 :皖仪科技2026-09-01
皖仪科技亮相第十四届半导体设备材料及核心部件展
2026年8月31日-9月2日，第十四届半导体设备材料及核心部件展（CSEAC 2026）在无锡太湖国际博览中心盛大启幕。作为半导体设备材料及核心部件领域的“风向标”盛会，本届展会以“做强中国芯拥抱芯世界”为理念，规划超7万平方米展览面积，设8个展馆，吸引国内外1300余家企业参展。展会集中展示半导体设备、材料、零部件领域最新技术成果与创新产品，覆盖晶圆制造设备、封测设备、核心部件及材料三大板块。
作为全球精密科学仪器专业供应商，皖仪科技携半导体行业监测/检测解决方案精彩亮相本次大会。
生态共建，注入半导体国产化“芯”动能
深耕精密科学仪器研发制造二十余年，皖仪科技始终以技术创新为刃，致力于为半导体行业提供全面专业的监测/检测解决方案。展会期间，皖仪科技展台成为技术交流热点，通过实物演示及解决方案展示，吸引了大量芯片制造、设备材料企业及研究机构等专业人士驻足交流。
其中，AMC监测、一站式密封性检测、实验室分析仪器三大核心解决方案，凭借在半导体制造关键环节的创新应用，引发行业高度关注。
AMC监测解决方案
随着半导体制程不断逼近摩尔极限，气态分子污染物（AMC，包括酸、碱、有机物等）的痕量级管控已成为影响芯片良率与产能的关键因素。皖仪科技依托高精度质谱、色谱领域多年的技术积淀，推出专业化的AMC监测解决方案，以高准确与稳定性、全自动化的仪器体系，以AI赋能，为半导体洁净室环境、机台环境提供专业化监测服务。
MAS 1000 AMC在线监测系统通过整合离子色谱与气相色谱质谱联用仪，可同时在线监测阴阳离子（F?、Cl?、Br?、NO??、NO??、SO?2?、PO?3?、NH??等）和116种VOCs（包括苯系物、卤代烃、醛酮、掺杂剂、溶剂、副产物等），实现PPT级酸、碱、有机物全面监控。MAS 2000 AMC在线监测系统通过整合CRDS、化学发光、紫外荧光、PID等原理之分析仪，可同时在线监测HCl、HF、SO?、NO?、O?、NH?、TVOC等气态分子污染物，实现PPB级酸碱有机物的全面监控
一站式密封性检测解决方案
针对半导体电子元器件及密封件检漏，皖仪科技提供一站式密封性解决方案，由压氦罐、检漏罐、氦质谱检漏仪组成，支持真空喷氦法、吸枪法等多种检测方式。在大型半导体生产中，氦质谱检漏仪广泛应用于刻蚀、CVD、PVD、真空炉、离子注入等工艺。它能在工艺维护后迅速确认工艺完整性和漏孔修复部位，确保真空管线、气柜及复杂气体输送管线以及生产设施的安全高效运行。
SFJ-16C/D单泵氦质谱检漏仪采用自有独特的软件算法和经客户验证的真空系统设计，可满足严苛的泄漏检测要求；SFJ-16F双泵氦质谱检漏仪采用双分子泵组合技术，可在量程范围内快速响应，在极短时间内完成从达到开检条件到给出测试结果，独特设计的真空系统可保持持续较高的氦气抽速和响应速度。
实验室分析仪器解决方案
皖仪科技分析仪器产品可应用于半导体工艺流程中的多个环节。离子色谱仪可用于半导体超纯水、高纯试剂、半导体表面痕量杂质离子的检测。气相、液相色谱仪，气质、液质联用仪可用于晶圆表面有机污染物、湿电子化学品的有机污染物、光刻胶有机物分析/配方剖析、电镀液添加剂分析、电子电器中有害有机物等成分分析。
赋能设备材料升级，共话产业未来
当前，半导体产业向更高制程、更优性能迈进，设备材料及核心部件的自主可控成为突破“卡脖子”难题的关键所在。皖仪科技深度融入产业生态，以专业监测/检测解决方案，助力半导体设备材料国产化进程。从守护生产环境到保障产品质量，从支撑研发创新到促进产业链协同，皖仪科技用技术力量为半导体产业迭代升级添砖加瓦。未来，皖仪科技将持续深耕，以更多硬核方案为半导体产业高质量发展注入“芯”动能，秉持自主创新初心，携手共创全球半导体产业更璀璨的未来！
