海目星：TGV技术达行业领先水平，具备半整线交付能力

　　海目星(688559)尊敬的公司领导：请问公司TGV设备的技术指标怎样？包括通孔圆度稳定、深宽比达到、通孔锥度、垂直度、最小孔径、孔径公差、孔位精度偏差、侧壁粗糙度、边缘崩边、单孔加工效率、整片晶圆通孔良率、铜填充空洞率等谢谢！

　　您好，公司在TGV玻璃通孔技术上，已具备“激光器自研+激光打孔+湿法刻蚀”半整线交付能力，可以在系统层面上，争取将生产不良率优化到0ppm左右水平，为客户在诱导工序段，实现良率与生产效率的双重保障。在核心技术指标例如深宽比、腰径比、最小孔径、通孔良率、加工效率等方面，均已达到行业领先水平。感谢您的关注。