来源 :搜狐网2026-08-28
国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“反应腔内累计膜厚的检测方法、检测系统和薄膜沉积设备”的专利，公开号CN122650884A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本申请公开了一种反应腔内累计膜厚的监测方法、检测系统和薄膜沉积设备。其中，反应腔内累计膜厚的检测方法包括在薄膜沉积工艺过程中，按照设定循环次数或沉积时间，采集腔盖温度和对应的薄膜厚度的数据；建立腔盖温度与薄膜厚度之间的关联模型；实时采集腔盖温度，通过关联模型预测对应的薄膜厚度及对应的置信区间；预设薄膜厚度的多级控制阈值，并根据薄膜厚度及其置信区间执行分级管控。本申请提供的反应腔内累计膜厚的检测方法能够在降低工艺成本的同时兼顾薄膜沉积效果，提高产品的良品率。
天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本46115.7283万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目58次，财产线索方面有商标信息106条，专利信息708条，此外企业还拥有行政许可69个。
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来源：市场资讯