来源 :上证e互动2026-07-02
微导纳米(688147)公司ALD设备的臭氧发生器主要有哪些供货商？ 尊敬的投资者，您好。公司ALD设备支持水蒸气与臭氧两种氧源方案，实际运行中客户会根据成本、稳定性、工艺控制等因素决定具体采用的工艺路线。零部件具体供应商名称因涉及商业保密信息不便披露，敬请谅解。感谢您的关注。