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中船特气(688146)内幕信息消息披露
 
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中船特气:钼工艺尚未规模化替代,已开展钼系前驱体研发布局

http://www.gubit.cn  2026-09-04  中船特气内幕信息

来源 :上证e互动2026-09-04

  中船特气(688146)市场目前在传以钼代钨明年会替代30%的市场,对公司的六氟化钨是否会带来重大冲击

  尊敬的投资者,您好。目前部分境外存储厂商在超高层数3DNAND产线开展钼工艺小批量验证及试用,尚未实现全行业规模化替代。在逻辑芯片接触孔、钨塞、DRAM通孔、HBM等高占比核心制程场景,钨基沉积工艺仍是全球主流成熟技术路线。同时,钨转钼工艺需整体改造沉积设备、重构制程体系、长期良率验证,投入成本高、切换周期长。同时,公司积极跟踪钼系前驱体、新型互连材料技术进展,开展前沿技术预研储备。目前公司已组建前驱体方向研发团队,采取不同技术路线,开展钼系前驱体材料的研发布局工作,做好项目研发及技术储备工作。感谢您的关注。

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