来源 :上证e互动2026-07-03
芯源微(688037)请问公司，目前臭氧水清洗是先进制程清洗的重要发展趋势吗？比传统rca和spm清洗相比，有何独特优势？ 半导体清洗工艺及技术路线复杂多样，结合不同具体工艺节点、应用场景、客户需求等多方面因素，选择适用不同的清洗方案。公司致力于为客户提供符合其特定工艺需求的前瞻性解决方案，并持续投入研发前沿清洗技术。具体技术及产品情况详见公司公告，感谢您的关注！