来源 :上证e互动2026-10-12
至纯科技(603690)你好，14nm以下高阶单片清洗验证难度高，贵司湿法清洗设备（至微）是否已经进入国内顶级先进制程GPU产线，目前批量设备主要是应用高端存储芯片还是逻辑芯片生产产线？
您好，公司半导体湿法设备聚焦晶圆制造的前道工艺，主要应用于扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等关键工序段前后。公司在28纳米节点设备开发已经全部完成，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点也已取得部分工艺订单，适用于存储、先进逻辑及特殊工艺应用。目前公司法设备主要供应逻辑芯片产线。