来源 :上证e互动2026-10-09
至纯科技(603690)你好，请问公司生产的半导体设备应用于光模块、光器件、光芯片生产吗？
您好，公司半导体制程设备主要服务于集成电路领域的硅基芯片制造企业，聚焦晶圆制造的前道工艺，主要应用于扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等关键工序段前后，能够覆盖晶圆制造中包括逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需求，在28纳米节点设备开发已经全部完成，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点也已取得部分工艺订单。