来源 :赛腾股份2026-08-18
创新突破，载誉而归！近日，江苏省工信厅公示了2026年度江苏省首台（套）重大装备名单，赛腾股份自主研发的“半导体12寸晶圆外观缺陷自动检测装备”实力登榜。
江苏省首台（套）重大装备，是指省内企业首次实现自主研制、填补国内空白、技术指标达到国内领先及以上水平，并具备批量应用价值的成套设备或单机。此次入选，不仅是对赛腾股份在高端晶圆检测装备领域硬核实力的权威认可，更是公司在半导体核心检测装备国产化替代进程中迈出的关键一步。
四大核心技术，突破行业瓶颈
赛腾股份长期深耕12寸晶圆缺陷检测装备赛道，围绕全域一体化检测、缺陷数字化建模、复合光学检测、翘曲精度补偿四大方向集中攻关，成功攻克大尺寸晶圆检测盲区、细微缺陷识别精度低、翘曲检测误差大、多规格适配性弱等行业痛点，形成了全维度一体化智能光学检测、缺陷图像数字化模型重建、明暗场复合照明检测、翘曲晶圆高精度补偿等四大核心技术。
量产落地，规模化应用
该装备综合性能达国内领先水平，全面适配晶圆减薄、抛光、镀膜、清洗、键合等全工序检测需求。目前已实现全面量产，累计出货突破100台，规模化应用于国内外主流硅片及晶圆制造企业。
该成果有效补齐了我国高端晶圆外观检测设备短板，实现国产化替代，打破进口垄断，大幅降低采购与运维成本，助力客户提升良率，推动半导体产业自主发展。
技术底蕴深厚，市场优势凸显
赛腾股份成立于2001年，2017年在上交所主板上市，深耕智能制造装备领域，产品覆盖半导体、消费电子、LDI等方向。当前，全球半导体产业正处于国产化替代加速的关键窗口期，赛腾将持续加大研发投入，推动更多核心技术、新产品和新场景落地，为中国半导体产业从“跟跑”向“领跑”跨越贡献赛腾力量！