来源 :深交所互动易2026-09-18
irm1347477问国林科技(300786)公司既然有面板级臭氧设备,请问究竟能否用于TGV玻璃基板封装工艺之中?请明确。
2026-09-16 14:20:12
国林科技答irm1347477
尊敬的投资者,您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程,子公司国林半导体现有产品可以满足上述工艺制程的应用需求。详细产品技术信息请查阅公司官方网站或公司定期报告进行了解。感谢您的关注。
2026-09-18 16:21:03