来源 :深交所互动易2026-09-11
irm1347477问国林科技(300786)干法清洗：工艺过程中不涉及溶液，通常借助氟（Fluorine）或氯（Chlorine）气体，通过等离子体（Plasma）方式进行清洗。而公司之前提过臭氧气体也是干法清洗的一个选项，请问臭氧气体在干法清洗与氟氯气体对比，有何独特地方？
2026-09-06 09:41:02
国林科技答irm1347477
尊敬的投资者，您好。臭氧清洗整体反应条件相对温和，氟氯等离子体活性更高，分别适配不同工艺需求。感谢您的关注。
2026-09-11 15:00:05