来源 :深交所互动易2026-08-17
irm1347477问国林科技(300786)请问公司，为什么在贵司年报里的产品介绍中，贵司单台半导体级臭氧发生器是用作ALD，而集成4台臭氧发生器的半导体级臭氧气体输送系统又是用作ALE，这同样都是臭氧发生器，为何具体作用不一样？能否解释一下吗？
2026-08-13 14:10:53
国林科技答irm1347477
尊敬的投资者，您好。ALD、ALE 均会使用臭氧作为反应气源，二者工艺原理不同。单台臭氧发生器侧重为 ALD 提供稳定臭氧气源；ALE 工艺对臭氧通量、供气连续性要求更高，因此采用多台集成的输送系统配置，通过多机组协同满足 ALE 工艺工况需求，设备硬件本体同源，应用差异源于下游工艺工况不同。感谢您的关注。
2026-08-17 16:34:03