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南大光电(300346)内幕信息消息披露
 
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(深互动)南大光电:现阶段主要专注于ArF和KrF光刻胶研发及产业化,未开展EUV光刻胶研发

http://www.gubit.cn  2026-10-26  南大光电内幕信息

来源 :深交所互动易2026-10-26

  irm1423172问南大光电(300346)冯董你好:公司一项名为“光催化无氯合成四(二甲氨基)锡的方法”的专利,授权公告号CN122608655B,授权日为2026年9月22日。申请公布号为CN122608655A,申请号为CN202611116047.3;光催化无氯合成四(二甲氨基)锡的方法主要用到?“紫外光协同烷基锂引发的无氯取代反应+后续纯化?核心工艺”上,是不是可以理解公司已经在研发DUV或EUV产品?

  2026-10-23 14:24:46

  南大光电答irm1423172

  感谢您的关注!公司现阶段主要专注于ArF和KrF光刻胶的研发和产业化,未开展EUV光刻胶的研发。

  2026-10-26 20:46:03

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