来源 :深交所互动易2026-07-23
irm1572737问聚光科技(300203)公司子公司谱育科技的EXPEC 7350系列（含7350S Plus）半导体ICP-MS/MS设备，其公开宣传的AI自动调谐、AI基线校正、AI干扰消除、智能故障诊断+远程运维等功能，是否属于“物理AI”（即AI与物理仪器硬件深度融合，实现自主感知、自适应、自诊断的工业智能）范畴？该等物理AI功能是否已在通过SEMI S2认证的晶圆产线验证并规模化应用？请明确答复“是”或“否”，并简要说明
2026-06-07 14:23:51
聚光科技答irm1572737
感谢您对公司的关注，EXPEC 7350 三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS/MS）采用全新的先进工艺设计和突破性的技术，可应用于高纯试剂，高纯金属，Si、CaAs晶片的超痕量杂质，光刻胶和清洗剂等高基体不稳定样品分析，分析能力成功突破了传统ICP-MS无法克服的干扰问题。ICP-MS/MS已成功构建覆盖高纯湿化学品、光刻胶、硅烷、晶圆体/表金属残留以及高纯石英材料等关键材料的痕量杂质分析检测整体解决方案体系。谢谢！
2026-07-23 20:46:03