来源 :深交所互动易2026-07-23
cninfo811009问聚光科技(300203)公司今年3月底举办“芯之眼，中国芯”新品发布会，正式推出EXPEC 7350S Plus系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS/MS），该产品的推出实现了半导体超痕量检测领域的国产新突破。请问该款产品是否已实现销售及交付？该产品是否可用于存储芯片半导体制造工厂？
2026-06-09 09:42:28
聚光科技答cninfo811009
感谢您对公司的关注，EXPEC 7350 三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS/MS）采用全新的先进工艺设计和突破性的技术，可应用于高纯试剂，高纯金属，Si、CaAs晶片的超痕量杂质，光刻胶和清洗剂等高基体不稳定样品分析，分析能力成功突破了传统ICP-MS无法克服的干扰问题。ICP-MS/MS已成功构建覆盖高纯湿化学品、光刻胶、硅烷、晶圆体/表金属残留以及高纯石英材料等关键材料的痕量杂质分析检测整体解决方案体系。谢谢！
2026-07-23 20:46:03