来源 :汉威科技集团股份有限公司2026-09-24
导读
半导体行业气体安全至关重要，汉威科技以先进传感技术为核心，推出半导体行业全场景气体安全解决方案，守护行业核“芯”命脉。
电子特气是半导体行业的“芯片血液”，也是最大的安全风险源之一，往往具有高纯度、易燃、有毒、强腐蚀等特点，在其制备、存储、输送等环节，一旦混入杂质（微量H2O、H2S等）或发生泄漏，可能造成设备停机与芯片批量报废，威胁人员健康与环境安全。
对半导体企业而言，气体安全建设不只是合规要求，更是保障良率、产能与员工生命安全的核心竞争力。
汉威科技集团推出了覆盖特气监测与分析、洁净室AMC微污染物监控、系统集成、动态巡检、平台运维的半导体行业全场景气体安全解决方案。
特气监测与分析解决方案
GD-HS10半导体工厂气体检测仪，支持半导体、催化燃烧、电化学、红外NDIR、激光TDLAS、PID等多种原理的气体传感器，采用模块化设计、配备彩色智慧屏，检测精准（最高ppb级）、维护方便、操作直观便捷，可选配自研热裂解单元GD-PU10，最终可实现C?F?、SiH?、PH?、Cl?、NF?等上百种电子特气检测。
微量水光腔衰荡光谱分析仪是一款基于光腔衰荡光谱（CRDS）技术的高精度分析仪器，全光纤，高精度，主要对大宗气体或特气进行ppb乃至ppt级别的精准定量测定，为半导体产线提供了从实验室级精准分析到在线连续监测的可靠手段，有效保障先进制程的良率与可靠性。
洁净室AMC微污染物监控解决方案
高精度傅里叶红外分析仪、AMC高精度气体监测仪，可在高温高湿等复杂环境中实现高精度、高灵敏度和高稳定性监测，为洁净室AMC微污染物监控提供坚实的数据支撑。
系统集成解决方案
依托自研气体探测器、火焰探测器、感温/感烟探测器、控制器等产品，可构建GMS可编程控制系统与FGS火气报警控制系统，实时探测气体泄漏、火焰与烟雾，一旦发现异常，系统即刻触发声光报警，同时自动联动消防等应急措施，将风险遏制于萌芽之中。
动态巡检解决方案
便携式气体检测仪轻便易携，满足作业人员日常巡检与有限空间作业的灵活监测需求。智能巡检机器人搭载傅里叶红外扫描成像系统，可全天候自主执行无人化巡检任务，实时回传现场数据，精准识别泄漏与异常。
平台运维解决方案
所有检测数据均可实时回传至半导体厂务智能运维系统，汇聚形成全域气体安全态势看板。平台支持多维度数据展示、历史趋势分析及报警记录追溯，管理人员可随时掌握车间各区域气体浓度分布与设备运行状态，实现从“被动应对”到“主动管控”的可视化运维。
传感技术是特气监测的核心。汉威科技集团将以“感知-监测-预警-处置-运维”的立体化安全监测管控体系，让每一次泄漏被更早发现、每一次报警被正确处置，守住半导体制造不可逾越的安全红线。