来源 :PDPI2026-08-06
维信诺（Visionox）正准备对其8.6代有机发光二极管（OLED）生产线进行后续投资。市场关注的焦点在于，此前在首轮投资中未能获得订单的韩国设备企业，例如YAS，是否会再次入选。
据业内人士8月6日透露，维信诺正在推进对其位于安徽省合肥市在建的V5工厂的后续投资。具体投资时间尚未确定，但预计会在明年第一季度。V5工厂基于玻璃基板的月产能为3.2万片。首轮投资规模为每月8000片，后续投资将覆盖剩余的每月2.4万片产能，是首轮产能的三倍。
AP Systems、SynusTech和ICD等设备企业参与了首轮投资。被视为关键部件的沉积设备已授予美国应用材料公司（AMAT）。自去年五月首台设备交付以来，维信诺（Visionox）的非精细金属掩模（FMM）技术“ViP”的安装、调试和验证工作目前正在进行中。
AMAT和YAS都通过在真空环境下加热固态有机发光材料（OLED）在基板上形成薄膜，但它们的基板处理结构有所不同。AMAT在垂直放置8.6代玻璃基板的同时沉积有机材料。其特点是采用集成式结构，在真空环境下将沉积、基板传输和保护膜形成连接起来。在垂直传输大型基板的同时，必须保持基板上下表面形成的有机薄膜厚度一致。
YAS将基板水平放置，并从位于下方的沉积源沉积有机材料。通过保持沉积源和基板之间的恒定距离，它可以在基板的整个表面上形成有机薄膜。由于基板加工方向不同，包括腔室和输送装置在内的设备配置也与AMAT不同。
AMAT可以利用从第一条V5生产线获取的设备运行数据和工艺条件进行后续投资。如果添加相同的设备，则可以继续沿用现有的沉积条件。另一方面，采用YAS设备需要改变基板加工方法，因此需要对设备和工艺进行新的验证。
关于YAS参与第二轮投资的可能性，维信诺的一位负责人表示：“我们目前正在使用AMAT的设备进行验证。”该负责人补充道：“我们有很多顾虑，因为采用YAS设备需要重新验证。”
维信诺最初考虑将现有的FMM工艺应用于部分V5生产线。去年5月，他们曾与日本佳能Tokki和韩国Sunic Systems讨论引进FMM沉积设备，但最终选择了ViP工艺。即使在公司内部，维信诺也认为在第二轮投资中采用FMM工艺的可能性很低。
预计维信诺将根据第一条生产线的设备安装、调试和ViP工艺验证结果，决定第二轮投资的沉积设备供应商。
在第一轮投资中，维信诺采用了佳能的光刻设备以及AP Systems的准分子激光结晶（ELA）和激光剥离（LLO）设备。等离子体增强化学气相沉积（PECVD）和溅射设备由AMAT提供，部分溅射设备由ULVAC提供。东京电子和ICD负责干法刻蚀设备，SynusTech负责阵列和沉积工艺的物流和设备转移。