来源 :深交所互动易2026-09-24
irm1347477问北方华创(002371)请问公司，在先进制程领域里，HARP工艺比传统TEOS工艺的优势在哪？HARP工艺里，O3发生器是否为核心系统之一？
2026-08-12 22:12:41
北方华创答irm1347477
您好！HARP是基于臭氧-TEOS体系的热CVD工艺，采用无等离子体热反应机制，在高深宽比结构的间隙填充与保形覆盖方面表现优异，适用于特定介质填充场景。臭氧作为关键反应气源由配套发生器提供，整机工艺能力依赖多模块协同实现，并非由单一部件决定。感谢关注！
2026-09-24 15:38:03