来源 :深交所互动易2026-09-24
irm1347477问北方华创(002371)请公司介绍一下SACVD （臭氧- TEOS）工艺的技术原理及应用场景？目前高端 3D 堆叠、高深宽比 TSV 几乎主流都用SACVD 臭氧- TEOS工艺吗？
2026-09-06 09:45:04
北方华创答irm1347477
您好！亚常压化学气相沉积（SACVD）是一种在亚大气压环境下通过热化学反应进行薄膜沉积的工艺设备，应用于多种领域的介质薄膜沉积。感谢关注！
2026-09-24 15:34:03