来源 :深交所互动易2026-08-11
irm1347477问北方华创(002371)半导体臭氧在半导体设备中的应用会是先进制程的发展趋势吗？
2026-06-28 23:19:58
北方华创答irm1347477
您好，半导体制程演进始终围绕工艺精度、器件性能与量产成本的综合平衡展开，臭氧相关工艺是先进制程技术体系中的探索方向之一，行业整体呈现多技术路线并行、分场景适配的发展特征。感谢关注！
2026-08-11 16:34:03