来源 :深交所互动易2026-09-24
irm1467436问恒星科技(002132)承明光电与河南科学院合作，联合研发CVD(气相沉积)和ALD(原子层沉积)技术所需前驱体材料，覆盖铝基、镓基、硅基、氨基、氧族等100余种高纯电子化学品。目标是支撑7nm/5nm/3nm先进制程，以及第三代半导体(GaN)、第四代半导体(氧化镓)关键薄膜生长？
2026-09-16 11:09:19
恒星科技答irm1467436
尊敬的投资者您好，经了解，承明光电委托河南省科学院碳基复合材料研究院主要进行MO源系列电子级产品及ALD前驱体材料的研发，目前前述项目尚在实验研发阶段。感谢您对公司的关注！
2026-09-24 08:39:03